Hafta | Konu | Ön Hazırlık | Dökümanlar |
1 |
MEMS/NEMS kavramının anlatılması
|
|
|
2 |
NEMS/MEMS uygulama örnekleri
|
|
|
3 |
Boyutlar ve ölçeklendirme
|
|
|
4 |
Temiz oda sistemleri ve özellkleri
|
|
|
5 |
MEMS/NEMS malzemeleri-özellikleri, malzemelerin seçimi
|
|
|
6 |
MEMS/NEMS üretim tekniklerine genel bakış
|
|
|
7 |
Litografi
|
|
|
8 |
Ara Sınav
|
|
|
9 |
Aşındırma
|
|
|
10 |
Biriktirme
|
|
|
11 |
MEMS/NEMS tabanlı sensörler
|
|
|
12 |
MEMS/NEMS tabanlı aktuatörler
|
|
|
13 |
MEMS/NEMS’ in biyomedikal uygulamaları
|
|
|
14 |
Genel Tekrar
|
|
|