|
Dersin Dili
|
Türkçe
|
|
Dersin Düzeyi
|
Lisans
|
|
Bölümü / Programı
|
Metalurji ve Malzeme Mühendisliği
|
|
Öğrenim Türü
|
Örgün Öğretim
|
|
Dersin Türü
|
Seçmeli
|
|
Dersin Amacı
|
Dönem sonunda, dersi başarılı bir şekilde tamamlayan öğrencilerin
aşağıdaki nosyonlara sahip olması amaçlanmaktadır:
-MEMS modellenmesinde kullanılan yöntemleri anlamış olmak
-Temel ayrık model ve makromodel methodlarına aşinalık
kazanmak
-Bir MEMS cihazının tasarım ve analizi için gereken aşamalara
aşinalık kazanmak
-Konuyla ilgili bilimsel literatür okuyup anlayacak seviyeye gelmek
|
|
Dersin İçeriği
|
MEMS’e temel bir bakış (malzemeler, mikroüretim metodları, MEMS
üretim merkezleri), MEMS ayrık modelleme, elektrostatik eyleyiciler ve algılayıcılar, elastik yapıların modellenmesi, kayıplı proseslerin ayrık modellenmesi, ince film sönümleme ve akışkanlar, MEMS makromodelleri ve sonlu eleman analizi
|
|
Dersin Yöntem ve Teknikleri
|
|
|
Ön Koşulları
|
Yok
|
|
Dersin Koordinatörü
|
Yok
|
|
Dersi Verenler
|
Öğr.Üye N/A
|
|
Dersin Yardımcıları
|
Yok
|
|
Dersin Staj Durumu
|
Yok
|
Ders Kaynakları
|
Kaynaklar
|
“Microsystem Design”, Stephen D. Senturia, Kluwer Academic Publishers, 2003
“Fundamentals of Microfabrication”, M. Madou, CRC Press, 1997
An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering, Nadim Maluf,Basım Evi: Artech House Incorporated,Basım Tarihi: Aralık 1999
Microsensors, Mems and Smart Devices : Technology, Applications and Devices Julian W. Gardner V. K. Varadan, Yayin Evi: Wiley, John & Sons, Incorporated, Basım Tarihi: Haziran 2001
Materials Science of Microelectromechanical Systems (Mems) Devices III, Vol. 657 M. P. DeBoer (Editor) H. G. Kahn (Editor) M. Judy (Editor) S. M. Spearing (Editor),Basım Evi: Material Research SocietyBasım Tarihi: Temmuz 2001
“Foundations of MEMS: International Edition”, Chang Liu, 2011, Prentice Hall
|
|
|
Anlatım
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ders Yapısı
|
Mühendislik Bilimleri
|
%70
|
|
|
Mühendislik Tasarımı
|
%30
|
|
|