| Hafta | Konu | Ön Hazırlık | Dökümanlar |
| 1 |
MEMS/NEMS kavramının anlatılması
|
|
|
| 2 |
NEMS/MEMS uygulama örnekleri
|
|
|
| 3 |
Boyutlar ve ölçeklendirme
|
|
|
| 4 |
Temiz oda sistemleri ve özellkleri
|
|
|
| 5 |
MEMS/NEMS malzemeleri-özellikleri, malzemelerin seçimi
|
|
|
| 6 |
MEMS/NEMS üretim tekniklerine genel bakış
|
|
|
| 7 |
Litografi
|
|
|
| 8 |
Ara Sınav
|
|
|
| 9 |
Aşındırma
|
|
|
| 10 |
Biriktirme
|
|
|
| 11 |
MEMS/NEMS tabanlı sensörler
|
|
|
| 12 |
MEMS/NEMS tabanlı aktuatörler
|
|
|
| 13 |
MEMS/NEMS’ in biyomedikal uygulamaları
|
|
|
| 14 |
Genel Tekrar
|
|
|